晶圆自动传送式照射装置（6/8英寸） EYE GRAPHICS 全自动UV照射机 晶圆胶带剥离 6英寸8英寸UV解胶机 在线报价 申请报价单 请选择需求的类型 当前产品：晶圆自动传送式照射装置（6/8英寸） 其他 姓名 * 电话 * 邮箱 * 公司名称 * 上传文件 (最大 10MB) 需求描述 添加我到邮件列表 提交申请 或直接联系我们：+86(0512)-67229265 概述 - 面向量产线的全自动晶圆UV照射装置，兼容6英寸和8英寸晶圆。采用传送篮扫描式照射，晶圆从料盒自动取出、照射后自动归位，全程无需人工干预。 优势 + ①全自动传送，大幅提升量产效率；②配备UV监测系统，照射精度可控；③料盒可快速放置，缩短作业准备时间；④适配6/8英寸共享框架，兼容性强。 性能 + 6/8英寸晶圆最多可连续处理25~50片；处理25片约需15~22分钟；带UV监测功能，光量控制精度±20~50mJ/cm² 指标 + 设备尺寸 W1440×D1200×H1580mm；灯管 3kW高压水银灯；发光长度 375mm；照射距离 180~300mm；扫描速度 30~200mm/sec；电源 Φ3 200V 30A；气源 0.5Mpa 15NL/min；氮气 30~40NL/min；排气 3.0~3.3m³/min【12†L1-L4】
