晶圆自动传送式照射装置（8/12英寸） EYE GRAPHICS 12英寸UV照射机 8英寸12英寸晶圆脱胶 全自动胶带剥离系统 在线报价 申请报价单 请选择需求的类型 当前产品： 晶圆自动传送式照射装置（8/12英寸） 其他 姓名 * 电话 * 邮箱 * 公司名称 * 上传文件 (最大 10MB) 需求描述 添加我到邮件列表 提交申请 或直接联系我们：+86(0512)-67229265 概述 - 面向大尺寸晶圆量产的全自动UV照射装置，兼容8英寸和12英寸晶圆。采用传送篮扫描式照射，可自动完成晶圆的取放、照射与归位全流程。 优势 + ①专为12英寸大晶圆设计的高功率照射系统；②全自动传送，适配大尺寸产线节拍；③UV监测系统确保照射一致性；④兼容8/12英寸框架，一机多用 性能 + 12英寸晶圆最多可连续处理13片；带UV监测功能，光量控制精度±20~50mJ/cm²；4kW大功率灯管确保大尺寸晶圆均匀照射 指标 + 设备尺寸 W1760×D1340×H1580mm；灯管 4kW高压水银灯；发光长度 490mm；照射距离 180~300mm；扫描速度 30~200mm/sec；电源 Φ3 200V 50A；气源 0.5Mpa 15NL/min；氮气 30~40NL/min；排气 4.0~4.4m³/min【12†L1-L4】
