晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统（6/8英寸） EYE GRAPHICS 6英寸8英寸UV解胶机 半自动UV照射机 研发用晶圆脱胶 在线报价 申请报价单 请选择需求的类型 当前产品：晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统（6/8英寸） 其他 姓名 * 电话 * 邮箱 * 公司名称 * 上传文件 (最大 10MB) 需求描述 添加我到邮件列表 提交申请 或直接联系我们：+86(0512)-67229265 概述 - 面向研发（R&D）和小批量生产的半自动UV照射装置，兼容6英寸和8英寸晶圆。采用照射器扫描式照射，操作员逐片放置晶圆框架，触摸屏简易操作。 优势 + ①逐片投入，便于效果确认和工艺验证；②触摸屏简易操作，非常适合测试与实验；③无需气源和氮气，安装条件简单；④设备尺寸小巧，节省实验室空间 性能 + 逐片处理方式，便于确认每片晶圆的照射效果；触摸屏操作界面，参数设定便捷；照射器移动扫描实现均匀照射 指标 + 设备尺寸 W760×D1250×H1405mm；灯管 3kW高压水银灯；发光长度 375mm；照射距离 160~250mm；扫描速度 30~150mm/sec；电源 Φ3 200V 30A；气源/氮气 无需接入【12†L1-L4】
